サイトマップ
|
トップ
language
Cdteとは
ショットキ検出
フォトリソグラフィ
比較
論文集
比較
代表的な半導体検出器の性能比較
CdTe (ショットキー)
CdTe (オーミック)
Cd
1-x
Zn
x
Te
*
Ge
Si
密度 (g/cm
3
)
5.85
5.85
~5.8
5.33
2.33
原子番号
48,52
48,52
48,30,52
32
14
エネルギー分解能
<5%@60keV
<4%@122keV
5~7%@60keV
6%@122keV
10%@60keV
6%@122keV
<1%@約100keV ~
0.1%@約1MeV
バンドギャップ
エネルギー (eV)
1.44
1.44
~1.65
0.67
1.12
電子・正孔対生成
エネルギー (eV)
4.43
4.43
~5.0
2.96
3.62
比抵抗室温下 (Ωcm)
10
9
10
9
10
9
~10
11
50
~10
4
μ
e
(cm
2
/V・s)
1100
1100
1000
3900
1400
μ
h
(cm2/V・s)
100
100
50~80
1900
480
τ
e
(s)
3×10
-6
3×10-6
3×10
-6
>10
-3
>10
-3
τ
h
(s)
2×10
-6
2×10-6
10
-6
1×10
-3
2×10
-3
Remarks
ダイオード特性により、漏れ電流が低減され、より良好なエネルギー分解能を得る事が出来る
低いバイアス電圧で動作可能であり、優れた時間安定性を有する
インゴット内でのZn分布が均一にならないため、電気的特性が均一なウェハを作製する事が困難である
抵抗率が低いため漏れ電流が大きく、液体窒素やペルチェ 素子を使用して、氷点下までの冷却が必要となる
100keV超のγ線に対する吸収効率が著しく低い
代表的なシンチレーション検出器の性能比較
NaI(Tl)
CsI(Tl)
BGO
密度 (g/cm
3
)
3.67
4.51
7.13
実効原子番号
51
54
75
エネルギー分解能
10%@150keV
8%@662keV
20%@511keV
発光波長 (nm)
415
565
480
相対シンチレーション効率
100%
45%
12%
潮解性
あり
僅かにあり
なし
CdTeについて
ページの先頭へ