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フォトリソグラフィ

ピクセル化可能な条件（概要）

ピクセル形状 四角型、円形型、多角形型
ピクセルサイズ 50μm以上
ピクセルピッチ 80μm以上
ガードリング幅 20μm以上

 

ピクセル素子のポンチ絵

 

BT１表面（表面写真例）

 

BT１表面（表面写真例）

ガードリング素子は、ピクセルパターン外周にガードリング電極を形成することにより、側面からのリーク電流を大幅にカットすることが可能です。
これにより、ピクセル部分では、ノイズ成分となるリーク電流をカットすることが出来ます。