XRF(蛍光X線分析装置)では、物質にX線を照射した際に発生する蛍光X線(特性X線)のエネルギーを強度として計測することにより、元素分析や元素分布を容易に測定することができます。CdTe素子は室温での動作が可能で良好なエネルギー分解能を有することから、現場での使用が可能な携帯型XRF分析装置がつくられています。