PHOTO LITHOGRAPHY リソ品

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フォトリソグラフィー技術を用いて、パターン電極を形成することができます。
1D、2D検出器をお考えのお客様は、詳細は当社までお問い合わせください。

リソ品
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基本パターン電極デザインルール

ピクセル電極の場合
●ピクセルピッチ:55μm 以上
●ピクセルサイズ :40μm 以上
●ピクセル間ギャップ:15μm 以上
ストリップ電極の場合

●ストリップ電極幅:40μm以上

●ストリップ電極間ギャップ:35μm以上

基本電極タイプ

  • In Schottky 電極素子
    インジウムショットキー電極素子

    低暗電流/ホール収集タイプ
    ●Pixel電極/共通電極
    (-) pixel Pt/CdTe/In/Ti (+)

  • Al Schottky 電極素子
    アルミニウムショットキー電極素子

    低暗電流/エレクトロン収集タイプ
    ●Pixel電極/共通電極
    (+) pixel Au/Ti/Al/CdTe/Pt (-)

  • Pt Ohmic 電極素子
    オーミック電極素子

    長時間安定/エレクトロン収集タイプ
    ●Pixel電極/共通電極
    (+) pixel/Pt/CdTe/Pt (-)

Pixel側電極をAuやAu/Ni/Au層で仕上げることもできますので、ご用命の際にはご要望をお聞かせください。
ボンディングする際に、はんだバンプがCdTe素子表面に付着するのを防ぐため、Pixel電極側にAlN層を形成することができます。

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03-3493-7621
【受付時間】9:00~18:00(土・日・祝日は除く)